Измеритель параметров полупроводниковых приборов ИППП-1

ИППП-1 измеритель параметров полупроводниковых приборов измеряет и автоматизирует контроль электрических параметров полупроводниковых приборов, анализирует их функциональные зависимости и отображает на экране внешнего персонального компьютера (ПК) вольтамперные характеристики (ВАХ) исследуемого объекта в виде графиков и таблиц, рассчитывает на их основе стандартные параметры исследуемого объекта, формирует и заполняет отчет о полученных результатах.

Суть работы приборов измерители ИППП-1 основывается на измерении значений тока (напряжения) на электродах тестируемого полупроводникового прибора при формировании на них последовательности значений напряжения или тока.

Измерители параметров полупроводниковых приборов имеют следующие модификации - ИППП-1/1, ИППП-1/2, ИППП-1/3, ИППП-1/4, ИППП-1/5, ИППП-1/6, которые отличаются количеством источников-измерителей.

Сфера применения: при входном контроле или для подбора полупроводниковых приборов по заданным параметрам. А также, непосредственно:

- межоперационный контроль параметров тест-структур на полупроводниковых пластинах в процессе производства в электронной промышленности;

- анализ брака;

- исследование ВАХ при разработке новых изделий и технологий.

Технические характеристики ИППП-1:

Каналы - от 1 до 4.

Модуль - 1 однопроводный.

Диапазон постоянного тока - от 1 нА до 200 мА.

Поддиапазоны - ±20 нА, ±200 нА, ±2 мкА, ±20 мкА, ±200 мкА, ±2 мА, ±20 мА, ±200 мА.

Погрешность установки/измерения тока - 0,5%.

Диапазоны формирования (измерения) напряжений - от 0,1 В до 120 В.

Поддиапазоны - ±2 В; ±30 В; ±120 В.

Погрешность установки/измерения напряжения - 0,5%.

Чувствительность приборов измерители:

- напряжения - 10 мкВ;

- тока - 0,1 пА.

Длительность ступеней развертки - от 5 мс до 100 с.

Изменение величины ИППП-1 проводятся:

- развертка LIN - линейный закон;

- развертка LOG - логарифмический закон (по основанию - 10);

- развертка LIST - по списку значений;

- развертка SINC - синхронно -пропорционально.

Формирования развертки вида «TIME»:

- интервал времени - от 10 с до 1000 с;

- период - от 1 с до 100 с.

Дискрет формируемого постоянного тока (напряжения) - не более 0,005%.

Величина единицы младшего разряда:

-ток (в диапазоне ±20 нА) - не более 0,1 пА;

- напряжение (в диапазоне ±2 В) - не более 10 мкВ.

Ограничение выходного напряжения/тока по пороговому уровню (в режиме формирования ступенчатого сигнала развертки) - от 0,1 до 1,1 от U_к/ I_к.

Суммарное значение входного сопротивления (в диапазоне ±20 нА) - не менее 100 ГОм.

Сигнал синхронизации с уровнями ТТЛ при токе нагрузки не более 3 мА:

- напряжение уровня “логического 0” - не более 0,4 В;

- напряжение уровня “логического 1” - не менее 2,4 В.

Длительность внешнего сигнала синхронизации с уровнями ТТЛ по сигналу низкого уровня - не менее 0,1 мс.

Очереди развертки ИППП-1:

- быстро - от 5 мс до 100 с (задержка начальная и на шаг); от 20 мс до 100 с (задержка на вершине);

- нормально - от 50 мс до 100 с (задержка начальная и на шаг); от 100 мс до 100 с (задержка на вершине);

- медленно - от 250 мс до 100 с (задержка начальная и на шаг); от 500 мс до 100 с (задержка на вершине).

Значения амплитуды импульсов:

- быстро - от 2 мс до 20 с (импульс); от 10 мс до 100 с (пауза);

- нормально - от 50 мс до 20 с (импульс); от 100 мс до 100 с (пауза);

- медленно - от 250 мс до 20 с (импульс); от 100 мс до 100 с (пауза).

В диапазоне - от 2 мс до 100000 мс определяют:

- длительность шага по времени;

- длительность импульса;

- длительность паузы;

- длительность воздействия максимального (stress) и минимального уровней на объект.

Дискретность задания длительности - от 0,1 мс до 100 мс.

Режим ВАХ:

- формирование и измерение ступенчатого сигнала развертки;

- формирование и измерение тока(напряжения).

Режим измерения времязависимых параметров.

Время установления рабочего режима - 15 мин.

Непрерывная работа ИППП-1 - не менее 16 ч.

Интерфейс - RS-232.

Напряжение сети переменного тока - 220±22 В.

Частота сети переменного тока - 50±1 Гц.

Потребляемая мощность ИППП-1 - не более 120 В·А.

Средняя наработка на отказ - не менее 8000 ч.

Средний срок службы измерителей - не менее 6 лет.

Среднее время восстановления работоспособности прибора - не более 4 ч.

Габаритные размеры - 450×280×430 мм.

Масса - не более 23 кг.